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國內(nèi)外半導(dǎo)體激光器發(fā)展歷程及現(xiàn)狀

放大字體  縮小字體 發(fā)布日期:2014-10-10     來源:[標簽:出處]     作者:[標簽:作者]     瀏覽次數(shù):154
核心提示:
技術(shù)研究所和西安電子科技大學(xué)等。

捆綁耦合技術(shù)進行光束整形。先用一根光纖柱透鏡進行快軸壓縮,然后進入與發(fā)光區(qū)相對應(yīng)的嚴格周期分布的光纖排,最后把輸出的多根光纖捆成一束。這種方法可以簡便地實現(xiàn)LD線陣輸出光場的對稱化,且光束經(jīng)過一段距離的光纖傳輸后在輸出截面上的強度得到均勻化,傳輸過程中的光能損失也很小,缺點是輸出光纖芯徑粗,亮度不高。

,耦合效率為75%。2003年,中科院半導(dǎo)體所利用這種技術(shù)實現(xiàn)了60 W 的大功率輸出,耦合效率為82%,輸出光纖為1.5 mm,數(shù)值孔徑為0.11,現(xiàn)已實現(xiàn)小批量生產(chǎn)。

板片緊密排列構(gòu)成的折射棱鏡堆,進行光束的重排,實現(xiàn)快慢軸方向光束質(zhì)量均勻化。目前該公司可以提供30 W、400 m的耦合輸出系統(tǒng)。

  中科院上海光學(xué)精密機械研究所采用折反射整形法,利用一組繞自身底棱旋轉(zhuǎn)45°的微片棱鏡堆,使得線陣半導(dǎo)體激光器發(fā)出的光在慢軸方向被N個微棱鏡切割成N段,每一段光束在對應(yīng)的微棱鏡中經(jīng)過幾次內(nèi)全反射后偏轉(zhuǎn)90°,實現(xiàn)了慢軸光束在快軸方向的重排。利用此技術(shù),實現(xiàn)了600 mm 光纖輸出,系統(tǒng)的總效率達到52%。

  中電集團十三所采用偏振復(fù)合技術(shù),首先兩個線陣半導(dǎo)體激光器分別進行快軸準直和光束整形變換,將其中一路光束利用半波片改變其偏振態(tài),使其與另一路光束偏振度正交,這樣再經(jīng)過偏振合束器,兩路光就整合到一路,且光束質(zhì)量不變,達到提高光亮度的目的。利用此技術(shù),實現(xiàn)了兩個808 nm線陣半導(dǎo)體激光器耦合進芯徑400 μm,數(shù)值孔徑0.22的石英光纖,整個系統(tǒng)耦合效率為60% ,功率密度48000 W/cm2 。

  中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所早在2002年就報道了通過光纖排捆綁耦合進行光束整形的技術(shù)。半導(dǎo)體激光器線列陣的輸出光束首先用多模光纖進行快軸壓縮,然后一對一的耦合進精密排列的光纖列陣中,最后在輸出端捆成一束,實現(xiàn)了l5 w 的激光輸出,耦合效率為75%。該方法結(jié)構(gòu)簡單、耦合效率高、成本低、調(diào)節(jié)簡單、利于產(chǎn)品化生產(chǎn)。2003年研制成功了一對線列陣半導(dǎo)體激光器60 w 功率光纖耦合輸出器件,總耦合效率82%,出光口徑為1.5 mm,數(shù)值孔徑0.1l。2004年5月又實現(xiàn)了單條線列陣半導(dǎo)體激光器30 W 功率光纖耦合輸出,出光口徑為1.07 mm,數(shù)值孔徑0.1l。光電子器件國家工程中心的光纖排捆綁耦合整形器件已實現(xiàn)小批量生產(chǎn)。

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