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“點(diǎn)亮”中國的LED高端裝備

放大字體  縮小字體 發(fā)布日期:2014-10-19     來源:[標(biāo)簽:出處]     作者:[標(biāo)簽:作者]     瀏覽次數(shù):110
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12月6日,具有國際尖端技術(shù)水平的國內(nèi)首臺(tái)套MOCVD(金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備)設(shè)備在上海張江理想能源公司成功下線,并與世界知名的臺(tái)資龍頭企業(yè)簽約供貨。此舉打破了高亮度LED芯片設(shè)備生產(chǎn)長期被國外企業(yè)壟斷的局面,使重大裝備國產(chǎn)化邁出堅(jiān)實(shí)一步。

MOCVD是高亮度LED芯片生產(chǎn)過程中最關(guān)鍵的設(shè)備,因設(shè)備技術(shù)難度高、開發(fā)周期長以及國內(nèi)產(chǎn)業(yè)化起步晚等原因,市場(chǎng)主要被歐美日企業(yè)所壟斷。我國高亮度LED外延芯片與封裝在規(guī)模與素質(zhì)上都取得了舉世矚目的成就,但關(guān)鍵裝備特別是量產(chǎn)型MOCVD仍然依靠進(jìn)口,生產(chǎn)成本居高不下,嚴(yán)重制約著LED 產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。因此開發(fā)出更高性價(jià)比的國產(chǎn)商業(yè)化MOCVD設(shè)備成為LED外延芯片企業(yè)的迫切要求。

2010年9月,理想能源啟動(dòng)MOCVD項(xiàng)目,在短短的一年時(shí)間里,理想能源技術(shù)團(tuán)隊(duì)設(shè)計(jì)開發(fā)出了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的MOCVD設(shè)備,并完成了第一代單腔體獨(dú)立設(shè)備和高產(chǎn)出率的簇式生產(chǎn)系統(tǒng)的生產(chǎn)組裝,成功地實(shí)現(xiàn)GaN基LED外延片的首次發(fā)光。經(jīng)過設(shè)備原型機(jī)近1年的運(yùn)行證明其性能達(dá)到甚至超過預(yù)定指標(biāo),并于2012年5月通過上海市科委的驗(yàn)收。依據(jù)連續(xù)的工藝驗(yàn)證結(jié)果和客戶數(shù)據(jù)反饋,在第一代原型機(jī)的基礎(chǔ)上開發(fā)出第二代量產(chǎn)型MOCVD設(shè)備,量產(chǎn)機(jī)型在產(chǎn)出率、可靠性、運(yùn)行經(jīng)濟(jì)性等方面都有了顯著的提升。

理想能源首臺(tái)量產(chǎn)型MOCVD設(shè)備的下線,將有望逐步打破量產(chǎn)化MOCVD設(shè)備一直被國外廠商壟斷的局面,國產(chǎn)設(shè)備將與進(jìn)口產(chǎn)品同臺(tái)競(jìng)技,為廣大LED外延芯片企業(yè)改善產(chǎn)品品質(zhì)、降低生產(chǎn)成本,提供優(yōu)質(zhì)的本土化服務(wù)。

在下線儀式上,臺(tái)灣璨圓光電公司代表與理想能源MOCVD總經(jīng)理奚明博士代表雙方就首臺(tái)MOCVD出貨及后續(xù)多臺(tái)套設(shè)備的深入合作簽署了協(xié)議。

國家工信部、國家科技部,上海市發(fā)改委、市經(jīng)信委、市科委,浦東區(qū)委、區(qū)政府,張江高新區(qū)、張江集團(tuán)相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)出席儀式,正泰集團(tuán)股份有限公司董事長南存輝出席儀式并做講話。南存輝說,“我們立足技術(shù)創(chuàng)新不動(dòng)搖,立足高端裝備制造不動(dòng)搖,立足實(shí)業(yè)發(fā)展不動(dòng)搖,充分發(fā)揮尖端技術(shù)、高端人才與產(chǎn)業(yè)和金融資本融合的優(yōu)勢(shì),為天更藍(lán)、地更綠、水更凈做出應(yīng)有的貢獻(xiàn)!

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