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發(fā)布信息

EFEM設備
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品牌： ROBOSTAR
0.1um： 0.5um
1um： 5um
0.05um： 0.2um
單價： 1.00元/臺
所在地： 上海
有效期至： 長期有效
最后更新： 2023-09-14 16:18
瀏覽次數(shù)： 277
詢價
店鋪基本資料信息
 
 產(chǎn)品詳細說明
2Port-4 Port LPM / Soft and High Speed Wafer Handling with AC Servo System Control.
FOOTPRINT Optimization / FFU Differential-Pressure Interaction Mode / Enable smooth top down air flow with enclosure structure
OPTION : Pre-ALIGNER, SIDE STORAGE。
主要特征：

■ Carrier : 300mm FOUP (SEMI E47.1-1101)

■ Cleanliness : ISO Class1

■ Repeatability : ±0.1mm

■ Electric Supply : 208VAC±10%, 3Phase

■ Acoustic Noise : < 70dB

■ Communication : Ethernet

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