采用直線電機(jī)，使搬運(yùn)、推送和長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)小型化。
厚度：9mm，質(zhì)量：130g（行程10mm時(shí)）。
***大推力：6N。
重復(fù)定位精度：±5μm。
推進(jìn)測(cè)長(zhǎng)精度：±10μm。
***高使用頻率：500cpm。

系列	行程（mm）	傳感器 （光學(xué)式直線 編碼器）分辨率	推進(jìn) 瞬時(shí)***大推力	重復(fù) 定位 精度	推進(jìn) 測(cè)長(zhǎng) 精度	***高速度
LAT3F	10, 20, 30, 50	1.25μm	～6N	±5μm	±10μm	400mm/s
LAT3M	50	5μm	～6N	±20μm	±40μm	400mm/s
LAT3	10, 20, 30	30μm	～6N	±90μm	±100μm	400mm/s