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川崎機(jī)器人 NS511 4軸 用于半導(dǎo)體、有機(jī)EL、LCD面板機(jī)器人

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品牌: 川崎
單價(jià): 面議
所在地: 上海
有效期至: 長(zhǎng)期有效
最后更新: 2018-06-13 15:27
瀏覽次數(shù): 398
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產(chǎn)品詳細(xì)說明
 

NS系列機(jī)器人

用于半導(dǎo)體、有機(jī)EL、LCD面板

經(jīng)典水平多關(guān)節(jié)手臂

NS系列無塵機(jī)器人以其長(zhǎng)期現(xiàn)場(chǎng)使用證明其具有300mm晶圓搬運(yùn)所需的可靠性和高水平性能。NS系列的RTZ操縱器運(yùn)動(dòng)功能,具有線性軸的可選長(zhǎng)度,以實(shí)現(xiàn)額外的FOUP伸展范圍。
SEMI F47合規(guī)
NS型號(hào)可以瞬時(shí)響應(yīng)電波動(dòng),如電壓下降,并且在電壓恢復(fù)時(shí)自動(dòng)恢復(fù)運(yùn)行。
SEMI S2合規(guī)
NS型號(hào)可以滿足對(duì)環(huán)境和人身安全的特殊考慮。
碰撞檢測(cè)
軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測(cè)功能,以減少碰撞所造成精密、專用設(shè)備的損壞。
翻轉(zhuǎn)夾持軸
NS411型號(hào)有一個(gè)附加軸,用于在水平和垂直角度搬運(yùn)晶圓。
懸掛式安裝
NS511型號(hào)具有吊裝規(guī)格設(shè)計(jì),用于在化學(xué)液體環(huán)境中使用,同時(shí)滿足ISO 5級(jí)的要求。

NS系列的規(guī)格

型號(hào) NS410 NS411 NS420 NS510 NS511
構(gòu)造 水平多關(guān)節(jié)型
自由度 3 軸 4 軸 4 軸 3 軸 4 軸
運(yùn)動(dòng)范圍 Y 軸
(行進(jìn)JT1)
2 FOUP: 660 mm / 3 FOUP: 1,070 mm 
4 FOUP: 1,670 mm
- -
θ 軸  
(旋轉(zhuǎn)JT2)
380° 325° 325° 360° 473°
Z 軸
(上下JT3)
380 mm 380 mm 380 mm 440 mm 440 mm
X 軸
(上下JT4)
710 mm 798 mm X1: 646.8 mm
X2: 646.8 mm
598 mm 816.5 mm
F 軸
(旋轉(zhuǎn)JT5)
- 156° - - 200°
重復(fù)性 ± 0.1 mm  (晶圓中心)
無塵度*1 ISO 2級(jí) ISO 5級(jí)
控制柜 D60/D61  (規(guī)格見無塵控制柜)

*1: 于川崎的無塵間內(nèi)測(cè)得

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