有芯、無芯、圓柱和磁引力補(bǔ)償式線性伺服系統(tǒng)特別適用于高速、高精密應(yīng)用之場(chǎng)合。*適合用于半導(dǎo)體制造裝置、芯片貼裝機(jī)等。